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SUNX晶圓校準傳感器重要參數HD-T1030
特點
無需任何安全措施
施工簡便
低消耗電流70mA以下
高分辨率30μm
無需光軸調整
配備系數和偏移量調整功能
技術參數
檢測頭
檢測寬度 30mm(直線性按照28mm的寬度規定)
檢測距離 30mm(固定)(注2)
環境性能 保護構造 IP40(IEC)
使用環境溫度 0～+40℃(注意不可結露)，存儲時：-20～+55℃
使用環境濕度 35～85%RH、存儲時：35～85%RH
使用環境照明度 白熾燈：受光面照明度3,000lx以下、熒光燈：受光面照明度3,000lx以下
耐電壓 AC1,000V 1分鐘 所有電源連接端子與外殼之間
緣電阻 所有電源連接端子與外殼之間，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表
耐振動 頻率10～150Hz 雙振幅0.75mm X,Y和Z方向各2小時
耐沖擊 加速度490m/s²(約50G) X,Y和Z方向各3
投光元件 紅色LED(投光波峰波長：650nm)
受光元件 光電二極管
材質 本體外殼：PEI、前罩部：玻璃、安裝基座：鋁
電纜 耐熱PVC電纜0.5m末端帶連接器
(注2)： 出廠時固定于安裝基座狀態下的值。
控制器
電源電壓 24V DC±10% 脈動P-P10%以下
消耗電流 70mA以下(含檢測頭)
模擬輸出 模擬電壓
?輸出電壓：1±0.5V(全遮光時)～5±0.5V(全入光時)
?輸出阻抗：75Ω
量程調整功能 裝備15圈無限制調節器，可調整模擬輸出電壓的量程
轉移調整功能 裝備15圈無限制調節器，可調整模擬輸出電壓的偏置
預熱時間 30分以上
反應時間 0.5ms以下(8V/ms以上)
分辨率 30μm(注2)
直線性 ±1.0%F.S.(檢測位置的檢測寬度28mm)(注3)
溫度特性 ±0.1%F.S./℃(24±2℃) (注3)
(注2)： 分辨率為模擬輸出的峰值～峰值距離換算值(20MHz以下帶域)。
(注3)： 檢測頭和控制器組合后測定時的代表示例。
SUNX晶圓校準傳感器重要參數HD-T1030
銷售部